Máquina de litografia, alinhador de máscaras, máquina de fotogravação
Introdução do produto
A fonte de luz de exposição adota LED UV importado e módulo de modelagem de fonte de luz, com pouco calor e boa estabilidade de fonte de luz.
A estrutura de iluminação invertida possui bom efeito de dissipação de calor e efeito de fechamento da fonte de luz, e a substituição e manutenção da lâmpada de mercúrio são simples e convenientes. Equipado com microscópio binocular de campo duplo de alta ampliação e tela LCD de 21 polegadas, pode ser alinhado visualmente através de
ocular ou visor CCD +, com alta precisão de alinhamento, processo intuitivo e operação conveniente.
Características
Com função de processamento de fragmentos
O nivelamento da pressão de contato garante a repetibilidade por meio do sensor
A lacuna de alinhamento e a lacuna de exposição podem ser definidas digitalmente
Usando computador incorporado + operação de tela sensível ao toque, simples e conveniente, bonito e generoso
Puxe a placa para cima e para baixo, simples e conveniente
Suporte para exposição de contato a vácuo, exposição de contato forte, exposição de contato de pressão e exposição de proximidade
Com função de interface de nano impressão
Exposição de camada única com uma chave, alto grau de automação
Esta máquina tem boa confiabilidade e demonstração conveniente, especialmente adequada para ensino, pesquisa científica e fábricas em faculdades e universidades
Mais detalhes
Especificação
1. Área de exposição: 110 mm × 110 mm；
2. ★ Comprimento de onda de exposição: 365 nm;
3. Resolução: ≤ 1m;
4. Precisão de alinhamento: 0,8 m;
5. A amplitude de movimento da mesa de digitalização do sistema de alinhamento deve atender no mínimo: Y: 10 mm;
6. Os tubos de luz esquerdo e direito do sistema de alinhamento podem se mover separadamente nas direções X, y e Z, direção X: ± 5 mm, direção Y: ± 5 mm e direção Z: ± 5 mm;
7. Tamanho da máscara: 2,5 polegadas, 3 polegadas, 4 polegadas, 5 polegadas;
8. Tamanho da amostra: fragmento, 2", 3", 4";
9. ★ Adequado para espessura de amostra: 0,5-6 mm e pode suportar peças de amostra de no máximo 20 mm (personalizado);
10. Modo de exposição: temporização (modo de contagem regressiva);
11. Não uniformidade de iluminação: ＜ 2,5%;
12. Microscópio de alinhamento CCD de campo duplo: lente zoom (1-5 vezes) + lente objetiva do microscópio;
13. O curso de movimento da máscara em relação à amostra deve atender no mínimo: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º；
14. ★ Densidade de energia de exposição: > 30MW / cm2,
15. ★ A posição de alinhamento e a posição de exposição funcionam em duas estações, e o servo motor de duas estações alterna automaticamente;
16. A pressão de contato niveladora garante repetibilidade através do sensor;
17. ★ A lacuna de alinhamento e a lacuna de exposição podem ser definidas digitalmente;
18. ★ Possui interface de nano impressão e interface de proximidade;
19. ★ Operação de tela sensível ao toque;
20. Dimensão geral: Cerca de 1400 mm (comprimento), 900 mm (largura), 1500 mm (altura).
